설비 엔지니어가 하는 것은? 심화편 (2)

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안녕하세요, 하멜입니다.


이번 문장은, 전회 작성한 문장에 이어, 설비 엔지니어의 실제 일상을 예로 들어 설비 엔지니어가 실시하는 것에 대해 설명하겠습니다.

만약 기존의 문장을 보지 않았던 분이 있으면, 링크 남겨 둡니다.

2023.03.21 – (삼성전자회사 이야기/설비엔지니어) – 설비엔지니어가 하는 일은? 심화편 (1)

(물론 보안에 문제가 없도록 민감한 내용은 다른 용어로 대체하거나 언급하지 않습니다.

)

(3) 설비 엔지니어가 설비 에러를 조치할 때, 처음 보는 에러나 기존의 알고 있는 해결책으로 조치를 할 수 없는 경우.

1)

EDM에서 오류 관련 정보를 찾습니다.

EDM이 무엇이든 삼성 네이버로 볼 수 있습니다.

과거부터 수많은 삼성 엔지니어들은 일하면서 쌓아온 지식과 정보를 EDM에 게재해 와 EDM에 있는 정보량은 구글 빠집니다.

예를 들어 진공청소기가 흡입할 수 없다고 합시다.

그러면 진공 청소기가 왜 흡입할 수 없는지 진공 메커니즘을 이해해야 합니다.

그렇게 하면 EDM에 진공청소기 구조/진공청소기 흡입원리 이렇게 관련정보를 친다.

2)

기존의 유사한 문제가 있었는지 기록을 참조하십시오.

시설 엔지니어는 시설을 운영할 때 정보를 작성해야 합니다.

그래서 기존과 비슷한 에러가 나면 이력이 남아 있기 때문에 기존의 이력을 찾아보는 것입니다.

그리고 히스토리는 다른 행의 히스토리도 볼 수 있습니다.

내가 삼성의 15 라인에서 일하는 경우, 12 라인 또는 16 라인, 또는 평택 라인에서 만든 이력도 찾고, 어떤 조치를 한지 참고하여 시설을 조치하는 것입니다.

3)

해당 설비를 만든 메이커에 직접 연락해 AS를 요청한다.

실제로 반도체를 만드는데 사용되는 대부분의 설비는 해외 메이커가 만든 설비이기 때문에 아무래도 해외 메이커가 직접 수리할 만큼 확실한 일은 없습니다.

그러나 매번 간단한 오류나 기존에 자주 있던 오류입니다만, 매일 해외 기업의 엔지니어를 부를 수 없습니다.

가격도 가격인데 해외 메이커의 엔지니어가 항상 라인에 상주하는 것은 아니기 때문에 대응도 비교적 느리기 때문입니다.

그래서 이런 간단한 오류 등은 삼성 설비 엔지니어가 조치를 취하지만 너무 복잡한 오류나 잘못된 조치를 하면 감정적인 느낌으로 매우 큰 일을 하고 싶다면 해외 기업 엔지니어에게 고쳐달라고 요청한다 입니다.

#참고

갑자기 기억해 쓰게 되지만, 설비 엔지니어가 하는 것에 PM, BM, CM이 있다고 관련 문장을 기존에 작성한 적이 있습니다.

그러나 실제로는 더 있습니다.

품질 팀, 설정 팀, 계산 팀입니다.

1) 품질 팀

설비에 오류가 없었습니다만, 생산되는 웨이퍼의 상태가 종래와 바뀌었다고 프로세스 엔지니어나 제조 팀으로부터 확인해달라고 요구하면 품질 팀으로 설비를 Down을 시켜 확인합니다.

또는 기존 설비의 특정 부품 A를 사용하고 있었지만, 이것이 30일 정도 경과하면 파손이나 불량이 발생했을 경우, 그 부품을 A`로 치환하는 작업을 합니다.

2) 설정 팀

설치 팀은 쓰기에 문제가 발생할 수 있는 구형 장비를 라인에서 폐기하거나 새 장비를 라인에 넣는 작업을 수행합니다.

그러나 이것은 사실 우리가 작업을 직접하지 않습니다.

외부 기업에 설비를 해체하고 이동시켜 주는 하청 작업을 넣고 셋업 팀은 작업간의 문제가 되는 부분을 미리 제거하거나 주의해야 할 점을 미리 확인하는 역할 등을 합니다.

(예를 들어, 설비를 라인에서 끌어낼 때 설비의 이동동선간 장애가 발생할 가능성이 있는 부분이 있는지 / 설비를 해체할 때에 기존의 화학제품의 공급이 제대로 절단되었는지 등을 확인)

3) 계산 팀

컴퓨팅 팀은 설비의 레시피를 관리하고 개선하거나 설비의 생산 추세를 관리하고 개선하는 작업을 수행합니다.

그럼 조리법은 무엇입니까?

요리 레시피가 떠오르면 거의 정답입니다.

장비는 웨이퍼를 취할 때 다양한 조건에 따라 웨이퍼를 취할 수 있습니다.

예를 들어, 웨이퍼는 80도 환경에서 진행될 수 있고, 웨이퍼는 100도 환경에서 진행될 수 있다.

(실제는 훨씬 복잡하지만…)

그 후, 레시피를 관리하는 엔지니어는 80도로 진행하는 레시피를 A와 설비에 저장해 두고, 100도로 진행하는 레시피를 B와 설비에 보존해 둡니다.

그리고 생산하고자 하는 패밀리에 따라 웨이퍼 레시피를 다른 방식으로 적용하면 다른 종류의 웨이퍼가 제조됩니다.

그 외에도 특정 레시피를 조금 수정하여 더 나은 웨이퍼를 만들거나 레시피의 어떤 Step을 생략해도 제품을 만드는데 지장이 없다는 것을 알면 그 Step을 생략하여 보다 빨리 웨이퍼를 만들 수도 있습니다.

그렇다면 생산 추세를 관리하고 개선하는 것은 무엇입니까?

특정 설비에서 웨이퍼를 가열하는 유닛이 있고, 식히는 유닛, PR을 코팅하는 유닛이 있다고 합시다.

그 후, 웨이퍼를 가열할 때에 웨이퍼마다 일정하게 가열하는지에 대한 경향

웨이퍼를 식힐 때 웨이퍼를 일정하게 냉각할지 여부에 대한 경향

PR을 코팅 할 때 웨이퍼에 일정한 두께로 코팅할지 여부에 대한 경향

이러한 트렌드 전체를 볼 수 있는 프로그램이 있습니다.

그런데 실제로는 설비는 정상적으로 진행되었지만, 단순히 트렌드를 볼 수 있는 프로그램에 에러가 발생하거나, 다른 엔지니어의 잘못으로 트렌드를 올바르게 반영하지 않는 등의 문제가 발생했을 경우, 그러한 문제 해결하기 위해 생산 추세를 관리하고 개선한다고 가정합니다.

추가 질문이 있으면 댓글을 달아주세요. 감사합니다.